薄膜液晶显示器TFT-LCD因体积小、耗电量低、重量轻、美观等诸多优点,是新兴的高新技术产业,已得到广泛关注和研究。由于便携式计算机、办公室应用程序和大屏幕显示器的普及使用,人们对于显示器的质量具有更高的要求。作为TFT-LCD行业的第一大不良:异物不良,对产品品质的影响约占95%,与企业效益直接相关。目前行业内的异物反馈机制是利用VT&ET检出情况,对异物进行分类,通过小比例异物样品拆片解析,从而得到异物分类,异物判责的效果,但是反馈周期较长,从而发现问题和改善问题的周期相应变长。新型TFT—LCD行业Cell膜下异物监控与反馈系统,是充分结合现有检测资源:各工艺段的AOI的异物形态及位置图片检测数据和后段VT/ET不良检测位置和异物形态数据,利用工厂MES自动化数据整合处理系统串接,实现后段不良信息快速反馈匹配至前段相应工艺段的功能,达到及时监控反馈,并传达到具体工程段精细化管控的良性异物监控处理模式。本文主要通过分析Cell膜下异物不良的分类和机理,对Cell异物进行控制。同时创建新型Cell膜下异物监控系统,对已改善后的Cell异物水平进行及时有效的监控,达到及时发现异物风险,及时改善的目的。它可以有效缓解繁琐的异物解析分析模式的压力,通过信息比对确认发生单位点,有效反馈工艺段,增加工程的改善积极性;同时可以匹配AOI与后段检出关系,及时调整AOI检测有效性,准确性。便于相关工艺段进行改善对策初步评估,减少资源浪费。通过对TFT—LCD制作流程中异物的影响及传统分析方法的不足进行分析,并结合实际生产经验,探索出一套以位置匹配为基础,充分的利用光学检查机检测数据的异物管控的新型异物监控反馈系统,反馈速度由原来的2周缩短至2小时,同时亦提高了工程改善的积极性及改善效率,最终实现异物管控,所有产品波动控制在1%内,为异物的分析与改善提供了新的思路。新系统已经在本厂通过自动信息化的方式建立相对完善的监控反馈机制,相信未来对于建立智能化工厂会发挥更大的作用。