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随着科技的发展,薄膜制备技术的应用越来越重要。由于薄膜的生长过程非常复杂,用实验和理论的方法研究薄膜的生长存在一定的困难。利用计算机模拟的方法在原子尺度上揭示薄膜形成初期微观结构的演化规律,对深入了解沉积原子的迁移、吸附和成核,对改进和优化薄膜生长工艺、提高薄膜质量、改善薄膜性质具有重要意义。本文中,我们在扩散理论的基础上,将RLA理论提出的助交换过程引入到模型中,建立了一个基于动力学蒙特卡罗(kinetic Monte Carlo)方法的三维模型,并用此模型分别研究“干净”系统(无表面活