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超精密加工、测量设备精度不断提高，对加工和测量环境要求也越来越高。地基振动是影响精度的一个重要因素。精密主动隔振台结合主动、被动隔振的优点，在实现良好的隔振效果的同时可以获得更宽的隔振频带。控制系统是精密隔振台的重要组成部分，其性能优劣直接影响隔振台的隔振效果。本文以单自由度隔振台为研究对象，分析了单自由度主动隔振台的工作原理，对单自由度精密主动隔振台进行了理论建模，在此基础上设计了基于PID算法的反馈控制器和基于自适应算法的前馈控制器，并对前馈控制器进行了仿真实验。根据隔振系统的控