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铁电薄膜集成器件是当代信息科学技术的重要前沿之一，而钙钛矿结构的铁电薄膜与导电薄膜的异质结构是集成铁电器件的核心。为了使铁电薄膜能更好地应用于集成器件，选用合适的方法制备制备合适的电极是非常重要的，电极层的性能直接决定了铁电薄膜材料性能的优劣。本论文的主要任务就是用脉冲激光法在不同的衬底上沉积导电钙钛矿结构氧化物La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜，并对生长出薄膜的结晶程度、表面形貌及导电性能进行了测试及分析。以实现应用于集成铁电器件，达到电极与铁电薄膜界面的结构匹配，延长铁电集成器件的寿