NiO:Li薄膜的阻变特性研究

来源 :东北师范大学 | 被引量 : 2次 | 上传用户:wang3398218
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近些年来,阻变式随机存储器被认为是下一代非挥发性存储器,从而引起了人们的广泛关注。阻变式随机存储器因其结构简单,转变速度快,低功耗,密度高,低成本等方面的特点备受关注。NiO薄膜是一种P型半导体材料,广泛应用于各种不同的领域,包括电致变色,传感器,光电探测器,染料太阳能电池等多个领域。同时,NiO是阻变式随机存储器研究材料中最重要的一种,它已经成为了人们研究的热点。在本论文中,我们利用脉冲激光沉积技术制备了NiO:Li薄膜,并研究了不同衬底温度及氧气分压对薄膜的影响,并以此为依据,构造了Pt/NiO:Li/Pt三层结构的阻变式随机存储器。其研究内容如下:通过调节衬底温度和氧气分压成功制备了NiO:Li薄膜;制备得到的存储器件开关电压分别为2.4V和1.4V,开关电阻分别为200K和15K,开关转变速度分别为200ns和1μs;其导电机制主要是SCLC导电类型,其电阻转变机制符合导电通道模型。
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