【摘 要】
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本文通过查阅大量的国内外文献,比较全面地了解了二元光学发展的过程及其的研究内容,重点探讨了用于光束整形二元光学元件的优化设计理论及制作工艺.主要内容如下:1、针对激
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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本文通过查阅大量的国内外文献,比较全面地了解了二元光学发展的过程及其的研究内容,重点探讨了用于光束整形二元光学元件的优化设计理论及制作工艺.主要内容如下:1、针对激光直写和激光照排机的光学系统,深入地分析和研究了光束整形二元光学元件的优化设计算法和光束变换理论,修改了ST算法,采用此算法和带透镜的夫琅和费衍射系统,优化设计了小孔径高斯光束的整形元件,并给出模拟计算的结果.2、对二元光学元件的制作工艺进行了深入地探讨和研究,掌握了基本的制作技术和工艺流程.用光刻和离子束刻蚀的方法制作了用于整形的16台阶二元光学元件,分析了影响刻蚀速率和刻蚀精度的因素,以及制作误差的控制方法.3、分析和讨论了制作误差的产生原因及它们对衍射效率的影响.4、初步探讨了衍射受限内的光束整形.
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