光波导传感器具有灵敏度高、不受外部电磁场干扰、体积小、便于集成、响应快、可现场实时检测等优点，在气体、化学和生物检测领域中占据了越来越重要的地位。　　 本文基于平面对称光波导的传播损失与波导表层的折射率及吸光系数的依赖关系，通过在玻璃光波导上制备不同的敏感薄膜，实现了对湿度和氨气的检测，检测结果与理论仿真相符。主要做了以下几个方面的工作：　　 (1)根据对称平板波导理论，研究了以五层对称平板光波导为核心结构的光衰减传感机理，包括由波导散射控制的光衰减湿敏机理，以及由波导变色吸光控制的光衰减氨敏机理，并进行了详细的分析和计算仿真。　　 (2)结合纳米薄膜制备技术，在玻璃薄膜光波导上制备了纳米TiO2多孔敏感薄膜，并对其进行了表征，总结了在光波导表面制备纳米多孔薄膜的一套完整流程。　　 (3)搭建了实验检测装置，对20％-85％的相对湿度进行了测试，与仿真所得的结果相符。比较了无敏感薄膜的光波导芯片和覆盖敏感薄膜的光波导芯片对湿度的响应，同时研究了敏感薄膜厚度、经过疏水处理的敏感薄膜对结果的影响、以及迟滞效应。　　 (4)在波导表面纳米TiO2多孔敏感薄膜中添加氨敏试剂，在室温下对氨气进行了测试，测试结果表明传感器对氨气具有可逆响应，检测下限低达1ppm。对比了致密敏感薄膜和多孔敏感薄膜对氨气的响应，并研究了湿度对氨气检测的影响。　　 (5)提出一种消除湿度变化对氨气检测结果的干扰的方法，该方法通过在同一玻璃薄膜光波导上集成两种敏感薄膜(一种只对湿度敏感，另一种对氨气和湿度都敏感)，同时对周围环境的氨气和湿度进行检测，由此可以消除湿度变化对氨气检测结果的干扰。