微波元器件的小型化是近年来微波工程领域的热门话题,也是广大设计师争相探讨的问题。同样热门的还有微波组件和微波功率模块（Microwave Power Module）小型化技术的发展,因此作为微波微波功率模块中的重要组成部件的小型化行波管也随之越来越热门。组件和模块的小型化,必然要求构成器件也需要进行小型化,因此增益均衡器随之需要进行小型化。由于目前增益均衡器不像其他微波器件一样拥有非常成熟的理论基础,所以本文作者认为研究出一种快速的增益均衡器设计方法是一件非常有必要的事情。该方法有利于缩小增益均衡器的设计周期,提升企业的效益,同时更能引导微波功率模块向更高一层次去发展。本文结合微带传输和增益均衡器的相关理论,研究了使用微带线结构来制作增益均衡器的可行性,并利用专业的Sonnet仿真软件和HFSS仿真设计软件,对满足高性能、小型化指标要求的2-6.2GHz的增益均衡器进行了研究。本论文结合了Sonnet软件快速仿真设计的优点与HFSS仿真软件精准收敛的优点,共同优化了微带增益均衡器的快速设计方法。在小型化2-6.2GHz增益均衡器的研制过程中,多次对微带枝节的长度、宽度进行结构创新和仿真优化,对电阻参数所带来的影响也进行了仿真对比,做到真正掌握了以上因素对增益均衡器仿真结果的影响。其次,以企业公司先进的工艺技术平台为基础,在对传统的增益均衡器的设计和制作基础上,对传统的增益均衡器在结构、原材料、加工工艺上进行改进。使用弯折谐振枝节来缩减微带谐振器,弯折主传输线来缩减阻抗变换线,并以此来达到减小增益均衡器的尺寸;通过使用专门设计定制的微带测试夹具,在不损伤小型化微波器件的情况下,快速、准确的测试出电性能。然后紧密结合市场需求,根据论文的目标,设计并制备出满足论文目标要求的小型化2-6.2GHz增益均衡器。最后,采用氮化钽薄膜电阻技术,同时根据氮化钽薄膜电阻的特点对仿真模型进行了改进,并对氮化钽薄膜的成膜工艺进行了研究。为使用氮化钽薄膜电阻制作增益均衡器提供了条件。