【摘 要】
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压力传感器的应用领域十分广泛,几乎渗透到了各行各业,基于MEMS技术的硅基压阻式压力传感器的研发与应用,受到了业界的普遍关注。压力传感器的发展趋势是小型化、集成化和智
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压力传感器的应用领域十分广泛,几乎渗透到了各行各业,基于MEMS技术的硅基压阻式压力传感器的研发与应用,受到了业界的普遍关注。压力传感器的发展趋势是小型化、集成化和智能化。基于企业实际项目需求,完成了压力传感器混合信号调理电路的设计与实现。利用压阻式硅压力传感器获取压力信号,通过合理设计电源模块,保证输出信号的稳定;使用经典的三运放方式,组成仪表放大器,实现了模拟量的放大输出及归一化;设计采用2个不同量程的传感器,保证不同量程范围内的测试精度要求;采用二阶有源滤波电路来抑制噪声的干扰。通过系统分析,选用AVR单片机作为系统核心。使用AVR单片机对模拟信号进行采样处理,并控制开关量的输出,采用数字滤波技术保证开关量阈值范围。基于VC程序设计上位机的通讯软件,使用RS-232通讯实现开关量的设定更改。通过软硬件调试,设计电路模拟量输出为0.5-4.8V,纹波小于20mV,可以实现5路开关量的控制,控制的压力阈值为20KPa,设计的电路达到预期指标。
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