考虑范德华力微悬臂梁动力系统的分析及其控制

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【摘要】

：

微机电系统(MEMS)作为20世纪80年代发展起来的新兴学科,是一种多学科的相互交叉与综合。微悬臂梁是微机电系统中最典型的结构,经常应用于微机电系统的开关和传感器当中,其动力学的特性直接影响了微机电系统的性能。目前对微悬臂梁动力系统的研究中,大多忽略了分子间的范德华力的作用,然而在微纳米级别下,两极板之间的范德华力是不能忽略不计的。本论文主要内容为在考虑范德华力的作用下对微悬臂梁结构系统动力学问题

【作者】

：

唐黎明

【机构】

：

西南交通大学

【发表日期】

：

2014年05期

【关键词】

：

范德华力微悬臂梁解析解混沌边缘控制吸合电压分岔

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