微波等离子体技术在等离子体刻蚀、等离子体增强化学气相沉积、等离子体表面处理及改性等领域有广阔的应用前景。作为激发和维持微波等离子体的直接动力，功率稳定的微波源具有十分重要的作用。磁控管是目前人们用来产生大功率微波的主要电子器件。　　 本课题用来产生大功率微波的主要电子器件是CK-619型大功率磁控管，它是一种高频二极管型微波频率电磁振荡能量输出器件，当阴极电压或磁场强度发生微小变化时，微波输出功率会发生很大的变化。系统在稳定阴极电压的基础上，采用了控制磁场强度的方法来调节微波输出功率，使系统的微波输出功率稳定在设定值上。通过调节IGBT的占空比的方式，可以使阴极电压稳定在设定值上。　　 在设计中采用了ATMEGA16L单片机作为系统的微控制器，使用AVRICC C语言进行程序设计。通过制板、编程、安装、调试等过程，成功的设计出了1kW～10kW功率可调的大功率微波源。　　 文中通过使用Matlab/Simulink、电力系统模块库(Sim Power Systems)和仿真响应优化(Simulink Response Optimization)工具箱，构建出一个脉宽可控子系统和磁控管简易仿真模型，在此基础上对整个大功率微波源系统的进行建模仿真，并对其控制参数进行了优化。这为微波源的分析、设计及控制方法的研究打下了一定的基础。