射频电源是等离子体配套电源，是我国八十年代末期出现的高科技领域，尤其是在射频放电、射频溅射镀膜、光学薄膜和半导体行业等方面显示出广阔的应用前景。目前，国内射频电源技术发展相对缓慢，大功率射频电源采用的设计方法依然是基于电子管作为功放技术。由于电子管射频电源工作效率低、稳定性差，匹配精度不高等缺点，因此研究一种功耗低、效率高、稳定性好的射频电源和阻抗匹配技术及智能优化算法乃是当前研究的热点。论文针对影响真空溅射系统射频电源工作效率低、稳定性差以及阻抗匹配速度慢、匹配精度不高等关键技术问题，分析研究了用于真空溅射沉积射频电源的功率转换效率和频率稳定性的影响因素以及E类功率放大器和射频电源各级电路的工作特性，推演了功率放大器的最大输出功率公式，运用Matlab对其归一化处理，得出最优占空比，可实现功率的最大输出。以美国Microsemi公司大功率MOSFET芯片（DRF1200）为核心器件，使用电路仿真软件Cadence及PSpice进行13.56MHz/1KW射频电源的模拟仿真设计，经SY型13.56MHz/500W射频电源实验装置测试，实验测得数据与模拟仿真数据对比，结果表明射频电源能够输出连续稳定的波形，证明了电路设计是合理有效的。论文提出量子粒子群算法，通过控制参数优化方法，运用Matlab进行仿真，仿真结果表明负载阻抗在不同变化速率，甚至突变下的匹配情况，阻抗匹配可以在0.1s内使反射系数模值趋近于0，反射系数波动小，系统匹配精度高，达到了快速、智能、稳定的匹配效果。为真空溅射系统射频电源功率放大器的电路设计和阻抗匹配及智能优化算法的研究提供理论参考和技术支撑。