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TiO2具有金红石、锐钛矿和板钛矿三种晶体结构，在一定温度和压力下可发生晶体结构的转变。TiO2是一种多功能材料，TiO2薄膜在可见光区透射率高，折射率大，是非常重要的光学膜；TiO2可作为多种传感器材料，不仅可以用于湿敏和压敏元件，也可用于检测多种气体，特别是．O2。TiO2具有强的光催化活性，可用于消除空气污染，净化空气。 本论文研究了采用直流磁控溅射法制备的TiO2氧敏薄膜。对薄膜进行了不同温度退火，发现未退火时为无定型结构；经过300℃退火时转化为锐钛矿结构；700℃退火，开始出现金红石结构，此时锐钛矿结构和金红石结构共存；1100℃退火时，完全转变为金红石结构。对TiO2薄膜氧敏器件特性进行了分析，发现灵敏度随工作温度和氧分压变化的规律，400℃以上时，在一定工作温度下，随氧分压的增加，灵敏度逐渐升高；工作温度越高，随pO2／(pO2+pN2)的增加，灵敏度增加越缓慢，在400℃下灵敏度随氧分压增加最快；在我们所测试的工作温度点中，400℃时具有最高的灵敏度，相对于他人的工作此温度是比较低的。得到了激活能为0.41ev。