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电子回旋共振等离子体辅助脉冲激光沉积(electron cyclotron resonance plasma assisted pulsed laser deposition, ECR-PLD)是一种新颖的薄膜生长方法,它的原理是脉冲激光烧蚀(pulsed laser ablation, PLA)产生的激光等离子体和电子回旋共振(electron cyclotron resonance, ECR)微波放电等离子体发生相互作用和反应,最终在衬底上沉积得到目标薄膜。这种方法综合了PLD薄膜制备和ECR微