随着科学技术的迅猛发展,先进制造技术不仅在加工精度、加工效率和加工成本等方面不断追求完善,而且在加工尺寸方面也在不断挑战极限,这样,微尺度加工技术就应运而生了,微磨削加工就是其中的一种重要加工方法。微尺度磨削是微细加工领域里应用最广泛的技术之一,以其高效率和高柔性的特点成为一个极具开发潜力的研究方向。本文首先简要介绍了非晶合金的起源和发展历史。并对非晶合金材料的特点进行了简要介绍。在力学性能上,非晶合金材料具有更高的强度、弹性变形能力和相对较低的杨氏模量。在磁学性能上,非晶合金材料具有高磁导率,低铁损和低矫顽力等特性,而且无磁晶各向异性。文章还简要介绍了国内外的机械加工的研究现状。在单晶零件微尺度磨削加工和研究方法部分,主要介绍了相关的加工设备和检测设备,并分析了微磨削机理,指出微尺度磨削中的成屑是由单颗磨粒独立完成的,因此要把单颗磨粒的切削过程作为微磨削理论分析模型的基础。简单介绍了最小磨削深度的概念。在非晶合金微尺度磨削实验方面,通过实验得到了微尺度磨削工艺中,对晶体材料黄铜H62、复合非晶合金(Zr70Ni110Cu20)82Ta8Al10、块体非晶合金Zr55Cu30Ni5Al10三种材料,主轴转速、磨削深度和进给速度对其磨削力和表面质量的显著性影响规律,并得出了正交实验中的最优解。本文还通过单因素对比实验,对比了顺磨工艺与逆磨工艺、干磨工艺与湿磨工艺在微尺度磨削工艺中的差别,并对得到的实验数据进行了理论分析。最终全文以微磨削表面粗糙度、磨削力两个方面作为评价标准,通过已得到实验数据,得出在不加切削液且选用逆磨的磨削方式前提下,获得了关于非晶合金材料的最优微尺度磨削工艺参数范围为:线速度在2.35m/s～2.82m/s,进给速度在90μm/s～120μm/s之间,磨削深度在6μm～8μm之间,最终实验所用的两种非晶合金表面粗糙度可以达到0.800～1.020μm。