微细阵列孔在航空航天、电子、仪器、原子能、化纤、光导纤维以及办公自动化设备、图像显示器、医疗器械、液压元件等工业领域中,应用越来越广泛,其孔径尺寸越来越小,精度要求越来越高,其中以纺织印染喷孔板的的应用最为典型,纺织印染喷孔板上的微喷阵列孔孔径小,要求孔的一致性好,这给微孔的加工带来很大的困难。研究微喷阵列孔加工技术,提高微细电火花加工机床的加工精度和加工质量,满足日益增长的纺织印染业对打印喷头的需求就显得尤其迫切和重要。微能脉冲电源是微细电火花加工机床上的重要组成部分。而目前微细电火花加工机床上的脉冲电源模式单一,适应能力不强,不能根据不同的加工要求选择合适的加工模式。因此,研究具有多种加工模式的电火花微能脉冲电源具有重要的意义。本文在大量阅读资料的基础上,综合分析了当前国内外微细阵列孔加工技术和电火花微能脉冲电源的研究现状,针对微喷阵列孔加工的特点,设计了一种能实现多种加工模式的微能脉冲电源。微喷阵列孔电火花加工多模式脉冲电源包括主振电路、驱动电路、保护电路、吸收电路和功率转换电路等几个部分。基于MCU和CPLD思想设计的主振模块可以产生最小脉宽为70ns脉冲信号,输出的脉冲信号在70ns~5μs范围内连续可调,可以对外界输入的放电状态检测信号进行及时的处理。功率转化模块能实现三种加工模式,分别为等周期加工模式、可控RC加工模式和静电感应加工模式,可以根据不同的加工要求选择相应的加工模式,满足微喷阵列孔电火花加工过程中的不同的加工要求。针对所研制的脉冲电源进行了电路的调试,并对每一种加工模式的放电加工波形进行了详细的分析,最后在电火花机床上对所研制的脉冲电源的每一种加工模式进行了工艺试验和微细轴、微细孔的加工,试验结果验证了脉冲电源设计的可行性。