微结构减反膜因为其特殊的光学特性,可以通过降低器件表面反射率来提高吸光率,进而被广泛地应用于光伏领域。在众多制备大面积的微结构减反膜的技术中,纳米压印技术是一种具有潜力的制备技术。纳米压印是利用机械力并配合着光学曝光的加工技术,由于这种加工方式的特殊性,其很容易造成微结构的破损从而影响微结构的精度。为了可以大面积制备微结构减反膜,并且保证微结构形状尺寸精度,本文提出一种新型的振动辅助纳米压印方法。通过在压印过程中,引入低频低幅的一维横向振动从而提高光刻胶的填充率以及微结构减反膜的表面均匀性。论文的主要研究内容包括:(1)阐述并说明振动辅助纳米压印方法的工作原理,并进行了振动辅助纳米压印装置的设计。基于微流动原理以及纳维斯托克斯方程建立在振动辅助条件下光刻胶的填充数学模型,从数学角度论证振动辅助纳米压印的合理性。依据振动辅助纳米压印的技术要求,研制出相配合的振动辅助装置。通过计算振动平台的放大比保证装置可以准确传递低频低幅的横向振动。同时,为了提高振动辅助压印过程中加工的稳定性,利用有限元仿真软件对振动辅助平台进行了模态与应力分析。(2)利用光学分析软件探讨微结构几何参数与表面光学性能的影响关系并对微结构几何参数进行优化。基于微结构反射的理论,探讨了微结构减反膜的工作原理。并基于有限时域差分法,研究了微结构几何参数(形状、结构高度、排列方式)与其表面反射效率的对应关系,明确了最佳微结构形貌。(3)运用宏观力学理论以及流变理论,研究加入振动后纳米压印材料的力学特性以及形变规律,揭示振动加入后的实际影响效果。从运动学角度,对建立的数学模型进行力学以及形变的数值分析,研究振动辅助纳米压印的合理性。运用有限元分析(FEA)法研究振动装置的主要性能(包括振动幅度、振动频率)对纳米压印成型效果的影响,分析振动参数对微结构表面质量和尺寸精度的影响规律,从而明确最佳振动工作范围。(4)进行振动纳米压印实验,通过对比的方式,从实验角度论证振动辅助纳米压印的合理性。以实验结果为基准,对实验之后的微结构表面进行几何检测和宏观功能性检测,讨论不同尺寸精度下的微结构减反膜的光学特性。