随着科学技术的发展,精密和超精密加工技术越来越显得重要。在精密和超精密加工技术的研究和发展过程中,精密和超精密机床起着决定性的作用。传统的超精密机床的精度主要是靠机床的基准元部件的精度达到的,然而,依靠继续提高超精密机床部件的精度来提高加工精度已十分困难,而且一些加工中产生的误差很难消除。所以,采用微量进给机构实现刀具的精确微小位移,并在加工过程中对加工误差做出相应补偿是保证零件尺寸加工精度、实现精密、超精密切削加工的必要手段。本课题的研究对于提高精密机床的加工精度和工件表面质量有着重要的意义。本课题所研究的微进给刀具系统是精密机床实现微进给的关键部件,该部件是以电致伸缩陶瓷驱动的微进给系统。论文首先采用实验的方法对电致伸缩陶瓷驱动器的特性进行了分析测试,给出了电致伸缩陶瓷的迟滞、蠕变、受力变形等特性的实验结果,为实现精确的补偿做准备。设计了微进给刀具系统的开环控制系统,编制了控制程序,并对微进给系统进行了实验研究。采用了有限元方法对微进给刀具系统进行了建模和计算,分别进行了有限元静力分析和动力分析。通过静力分析得到了微进给刀具系统在静力作用下的变形和应力分布。通过模态分析得到了微进给刀具系统的前四阶固有频率和模态振型。对设计的微进给刀具系统进行了实验研究,对刀具系统的刚度和受力变形进行研究并对结果进行了总结。并应用微进给刀具系统进行了机床上的实际工件加工实验,通过对机床自身的误差补偿和最后的二次补偿,通过微进给系统的补偿,使工件的加工精度误差控制在5μm内,起到了比较明显的提高工件表面加工精度的作用。