透明导电薄膜与微细图形的制备

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【摘要】

：

本文以无机盐为出发原料，采用溶胶—凝胶法制备了光学和电学性能较为优良的掺锑二氧化锡(ATO)薄膜和掺锡氧化铟(ITO)薄膜，进一步研究了热处理气氛、温度、时间、掺杂量对薄膜电学及光学性能的影响。并采用感光Sol-Gel法、结合紫外光照技术实现了对ATO薄膜的微细加工。研究结果表明： (1)将SnCl_2·2H_2O溶入无水乙醇，80℃回流2小时左右，以SbCl_5为掺杂源进行掺杂，制得锑掺杂

【作者】

：

刘永红

【机构】

：

西安理工大学

【发表日期】

：

2004年03期

【关键词】

：

二氧化锡氧化铟锡溶胶-凝胶法感光性微细图形

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