【摘 要】
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信息时代的到来,对微波集成电路提出了更高的要求。超大规模单片集成电路已经达到其集成或微型化的极限,要进一步提高其组装密度和扩展功能,唯一的途径就是发展三维微波集成
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信息时代的到来,对微波集成电路提出了更高的要求。超大规模单片集成电路已经达到其集成或微型化的极限,要进一步提高其组装密度和扩展功能,唯一的途径就是发展三维微波集成电路(3DMIC)。但是3DMIC需要高性能的封装材料(特别是对于微波损耗来说),高容量、低成本的生产能力。低温共烧陶瓷(LTCC)因其各方面的性能优异(它最突出的优点就是能够内埋无源元件),从而真正实现了3DMIC。 本文介绍了3DMIC的产生过程、分类及其技术进展;详细综述了LTCC技术的工艺和技术特点,并对其内埋各种无源元件(如:电阻、电容和电感等)技术进行了全面的论述;利用Agilent公司的电磁仿真软件ADS设计出了一系列结构新颖的多层螺旋电感,并给出了一些仿真结果来证明设计的合理性;研究了多层螺旋电感的测试结构及其测试方法。
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