【摘 要】
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该论文在总结集成电路制造中工艺数据来源的基础上,着重讨论了以PCM为主的工艺 测试数据处理中的多方面问题.提出了一套完整的数据收集和数据处理方法.形成了统一存取格式的
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该论文在总结集成电路制造中工艺数据来源的基础上,着重讨论了以PCM为主的工艺 测试数据处理中的多方面问题.提出了一套完整的数据收集和数据处理方法.形成了统一存取格式的数据文件,以容纳不同类型的工艺数据,同时使用防止数据量随时间迅速膨胀的存储策略,通过对数据进行前端统计处理,可以提取大量同类数据的统一特征.处理程序使用面向对象技术设计,在PC机上Windows操作系统中实现,具有方便的操作和标准的应用程序 界面,同时易于进行功能扩充.测试数据的利用之一是在工艺诊断方面,他以新工艺的开发研制为目标,以PCM测试数据为主要的分析对象的集成电路工艺诊断问题.研究了故障诊断 知识的获取方法及在计算机中的表述和存储方法,形成以原因-征兆表为存储结构的诊断知识库,并结合一般故障诊断专家系统的构建方法,讨论了几种诊断推理方法在集成电路工艺故障诊断中的应用.给出了征兆值统计推理、人工神经网络推理、遗传算法推理的具体算法实现.
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