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表面增强拉曼光谱(SERS)技术具有很高的灵敏度,能够对各种低浓度分子进行检测,因此被广泛用于生物、化学和食品探测等领域。SERS增强基底的制备是实现高灵敏度探测的关键因素,而制备具有高增强效果、高稳定性以及容易制备的活性SERS基底更是一种挑战。硅纳米线阵列制备技术由于和现代集成电路工艺相兼容,使得其能够利用现有的成熟刻蚀工艺实现大批量生产。通过在硅纳米线阵列表面溅射贵金属(金、银等),就可以实现固态活性SERS基底,并且具有低成本、高灵敏度的特点。本文首先研究了拉曼散射的基本原理,并且对表面拉曼