彩色滤光片光阻剥落的分析及改善

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彩色滤光片是TFT-LCD中的三大关键器件之一,它直接决定了显示器的彩色图像质量。而彩色滤光片的技术核心在于光阻材料及其制备工艺。彩色滤光片的质量和性能是影响显示屏显示性能、成品率及可靠性的关键因素。光阻材料属于感光性材料,曝光时需要选择与材料契合的曝光频谱与曝光能量,否则会遇到光阻边缘剥落的问题,导致像素缺陷,漏光、亮点等问题。当前技术下边缘脱落问题难以解决,目前华星使用的光阻由东洋、捷时雅、大日本化学、日本东应化工、台湾奇美、东友化学等几家厂商供应,均有概率出现边缘脱落问题,可见问题的普遍性。边缘剥落导致的像素亮点在修补上有一定难度,导致产品降等级的问题,给实际生产带来极大的损失,故有必要深入研究该问题。本论文首先对光阻材料的成分、机理进行研究分析,从多方面深入探讨光阻应用过程中出现缺陷的原因。然后分析在应用过程中光阻剥落的表现和对画质的影响,并深入研究剥落的形成原因、影响因子以及出现比例。最后通过在产品制造流程及使用流程分别进行实验分析,从材料和工艺两方面找出有效的剥落改善方法。并建立的剥落特性侦测模型,以指导实际生产实践,提高产品良品率,降低生产成本。
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