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科学技术的快速发展,让人们对等离子体越来越熟悉。由于等离子体具有电子浓度高,电离度高,无电极污染,并且能够工作在很宽的气压范围等优点,近年来,等离子体技术已经在化学气相沉积,等离子体隐身,等离子体表面处理等领域得到了前所未有的发展。在特定的应用领域中,对等离子体的参数要求是不同的,为了能够准确地应用等离子技术,必须准确掌握等离子体电子浓度,离子浓度,能量分布,频率特性等参数特性。等离子体诊断就是在特定的环境中,应用特定的诊断方法测量出目标等离子体的特性参数。目前,全世界用于诊断等离子的方法主要分为非