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近年来,轻量化航空航天飞行器快速发展,面齿轮的应用优势越来越明显。然而国内缺少成熟的高精密面齿轮加工机床的制造工艺,很难用传统机械加工方式加工高精度面齿轮,再加上受到国外严密封锁,亟待开创新的加工方式减少国内外差距。高精度面齿轮的加工难点是齿面复杂精密,而飞秒激光加工可以实现微米甚至纳米级别的精准加工,加工区域非常精确,热影响也很小。本文针对面齿轮最后的飞秒激光精微修正工序,采用理论建模、仿真与实验分析相结合的方法,开展飞秒激光精微修正面齿轮研究,主要包括以下内容:面齿轮材料的单脉冲飞秒激光烧蚀特性