光学CCD非接触两维测量仪中瞄准精度的研究

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利用CCD进行尺寸测量是一种非常有效的非接触检测方法,这种方法被广泛的应用于零件尺寸的精密测量中。本文以面阵CCD为传感器,设计了一种零件尺寸测量装置,实现了零件尺寸的图像边缘亚像素定位,对面阵CCD在高精度测量方面的应用作了进一步的探索和讨论,为面阵CCD在复杂零件尺寸高精度测量的实现打下了基础。本实验装置是在实验室现有的万能工具显微镜的基础上改造而成的,是由CCD图像传感器、光栅传感器、光学成像系统、数据采集系统、图像采集系统和计算机及相关的机械结构构成的光学CCD非接触两维
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