MEMS微加速度计读出电路设计

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【摘要】

：

MEMS微加速度计具有体积小,重量轻,分辨率高,温度特性好等优点,在汽车,惯性导航,空间微重力测量以及高精度勘探等等方面有着广泛的应用。但是微加速度计随工艺的改变比较大,器件参数有很高的不确定性以及各种非线性;另外微加速度计的体积微小,输出的电容变化信号非常微弱,一般都在10-15F左右,受集成工艺,寄生电容以及各种噪声等的影响严重,这些都为MEMS微加速度计读出电路的设计提出了挑战。本文针对ME

【作者】

：

许巧丽

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

微机电系统微加速度计读出电路低噪声前置放大器差动式检测

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