多功能化学镀复合涂层及溅射电致变色多晶氧化物薄膜研究

来源 :中国科学院上海硅酸盐研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mo114
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根据IC模具对耐磨、耐腐蚀、防粘接功能涂层的需要,该研究采用化学复合镀工艺成功地制备了镍磷、镍磷~碳化硅、镍磷~聚四氟乙烯和镍磷~碳化硅~聚四氟乙烯等多组元复合涂层,借助硬质相和固体润滑剂颗粒的协同作用改善了化学复合镀层的综合性能,赋予了镍磷~碳化硅~聚四氟乙烯多组元复合涂层耐磨、耐腐蚀、高硬度和低表面能等特性.该复合镀层的成功制备,有效地拓宽了化学复合镀技术的研究内容,为材料性能的组合、裁剪与设计提供了一条新的工艺途径.
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