【摘 要】
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近年来,微电子技术发展迅猛,微热管以其高热导率、快速热响应、良好等温性等优点,成为了微电子产品散热的理想元件。微热管的传热性能主要取决于管内吸液结构,而传统工艺和方法制造出的吸液芯已经不能适应当前电子设备轻薄的发展趋势,为了改善当前热管吸液芯的制约,本文利用激光微织构技术制备出亲、疏水间隔通道的平板微热管,该间隔通道具有提高液滴输运能力的效果,以此提高了热管传热性能。主要工作如下:(1)通过微观形
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近年来,微电子技术发展迅猛,微热管以其高热导率、快速热响应、良好等温性等优点,成为了微电子产品散热的理想元件。微热管的传热性能主要取决于管内吸液结构,而传统工艺和方法制造出的吸液芯已经不能适应当前电子设备轻薄的发展趋势,为了改善当前热管吸液芯的制约,本文利用激光微织构技术制备出亲、疏水间隔通道的平板微热管,该间隔通道具有提高液滴输运能力的效果,以此提高了热管传热性能。主要工作如下:(1)通过微观形貌观察,结合激光微织构加工原理,分析了铜板超亲水和超疏水功能的激光微织构机制。超亲水和超疏水的成形机理主要是光热作用,汽化压力喷溅的熔融物基体表面形成纳米毛刺状结构,由于其具有较高表面能,该结构具有超亲水性质;经热处理之后,毛刺状结构发生细微,毛刺结构在表面形成均匀的凸台结构,使液滴和基体之间形成气垫,即形成wensel状态,该状态具有超疏水特性。(2)适合的激光工艺参数为:平均功率70W,脉冲宽度240ns,重复频率74kHz,扫描速度1002mm/s,该工艺参数下,得到超亲水区域接触角为0°,经热处理之后,超亲水转变为超疏水,其接触角为161.2°。(3)分析亲、疏水间隔通道的液滴快速输运机理。加工出超亲水超疏水不同宽度的间隔通道,对不同宽度进行液体输运时间检测,宽度为2mm的通道输运时间最短,计算出其输运平均速度最快可达18.56mm/s,相较全超亲水样品,其输运平均速度提高了2.5倍。(4)组装了尺寸为100×30×2mm~3的平板微热管,其内部密闭空间尺寸为96×26×1mm~3。对微热管管体材料、充液率进行了实验选择,经过亲、疏水间隔通道的激光制备、抽真空注液管的加工、组装粘接封装、气密性检验等工艺流程,制备出具有亲、疏水间隔通道微热管实验样品,并对各个样品进行传热性能检测。(5)搭建了微热管传热性能实验平台,首先测出该种热管合适充液率为50%。然后在50%充液率下,检测通道宽度对为热管散热影响,得出间隔通道为2mm的微热管的启动时间、工作温度、散热性能较好,相较于无间隔的样品,其启动时间提高了34.89%,表面温度降低了9.1%,发热片表面温度降低了9.6%,并且具有更快的热响应。
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