射频滤波器具有广阔的市场，已经成为当今无线通信领域内研究的热点之一。无线通信的发展促使更多的功能模块小型化，集成化。传统的介质陶瓷滤波器体积偏大且无法与RFIC电路集成，声表波滤波器（SAW）滤波器则受光刻工艺的限制且难以承受高功率。薄膜体声波滤波器（FBAR滤波器）技术作为目前唯一可以和RFIC及MMIC集成的滤波器方案，具有更加低廉的价格和更加优越的性能而引起国际上的广泛关注。目前，国际上仅有Agilent等少数国外大公司有能力研制生产，在国内，对FBAR的研究则刚刚起步。 本文从基本的压电方程出发，建立了FBAR谐振器的理论模型，对实验室深入研究FBAR滤波器具有重要的实际意义。论文的主要工作为： 1、本文总结了FBAR谐振器模型所需的基本压电理论，并且从这个理论出发推导出横场振动和纵场振动的振动方程以及Mason等效电路模型和BVD等效电路模型； 2、提出了使用实验室自制了RF溅射镀膜设备制备AlN薄膜的方法，并且创造性的提出了测量AlN薄膜介电常数的方法； 3、利用第二类压电方程，推导出了简单无损耗、复合型结构，以及有损耗的FBAR谐振器的阻抗表达式，并且将纵向振动的压电振子的BVD等效电路模型应用于FBAR谐振器的分析，推导出BVD模型中分立参数的计算表达式。研究结果表明，利用BVD模型计算出的FBAR谐振器的阻抗曲线与利用第二类压电方程推导出的FBAR阻抗表达式计算出的阻抗曲线具有很好的吻合性； 4、分别利用FBAR谐振器的阻抗表达式和BVD模型，推导出用于表征FBAR谐振器性能的两个参数：压电耦合系数K_eff²和品质因数Q的表达式，研究结果表明，K_eff²仅与串联谐振频率和并联谐振频率有关，可以用来表征FBAR的相对带宽，为实验室以后的测试工作奠定了理论基础； 5、从FBAR谐振器的阻抗表达式出发，利用Z参数到ABCD参数再到S参数之间的变化公式，设计出一种可以用于美国PCS频段的接收滤波器，并且可以通过加入并联电感来增加～个在发射频段内的极点。浙江大学硕士学位论文本论文的主要任务在于对FBAR谐振器和滤波器进行理论分析并且进行仿真设计，为实验室后续工作的展开提供理论支持。关键词:滤波器，FBAR谐振器，AIN薄膜，压电祸合系数，品质因数，仿真妇..卜玄