【摘 要】
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该论文采用中空圆柱靶直流磁控溅射装置,在优化的基片温度和氧分压下,分别在不同溅射气体组分在LaAlO基片(100)表面制备了高性能的YBCO超导薄膜.溅射气体组分工艺研究的结果
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该论文采用中空圆柱靶直流磁控溅射装置,在优化的基片温度和氧分压下,分别在不同溅射气体组分在LaAlO<,3>基片(100)表面制备了高性能的YBCO超导薄膜.溅射气体组分工艺研究的结果表明:O<,2>量固定时,Ar气量较高或较低时薄膜内出现BaCuO<,2>第二相,其c轴长度较理想长度略小,薄膜内存在晶体结构无序.Tc和Jc测量结果表明薄膜内部晶体结构无序的直接恶化了超导薄膜的输运能力.通过优化溅射气体中Ar气量(Ar/O<,2>=1.65-1.70),可以减少薄膜中出现的BaCuO<,2>第二相,降低薄膜结构的无序程度和提高超导性能.
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