本文的研究内容是基于等离子体设备，利用数值模拟讨论了低气压的气相沉积SiC量子点的生长特性；采用COMSOL探讨了大气压微等离子体在水溶液中的放电特性。具体内容为：（1）纳米材料因其表面效应、体积效应和量子尺寸效应，在生物医学、光电、能源、化工等领域具有重要的应用。气相沉积形成的量子点、薄膜的形态、结构和密度等特性与生长初期沉积的粒子的扩散和成岛的形态分布有着很大的关系，从原子和原子岛的角度研究其微观动力学过程，对于沉积量子点的生长有着重要的意义和价值。论文研究了graphene衬底表面SiC量子点的自组织生长，采用速率方程简单的模拟方法，讨论了Si、C、SiC在graphene上沉积的不同生长情况，通过改变沉积强度，衬底温度和沉积的原子比等参数，研究各参数对SiC量子点在graphene上的生长的影响以及预测其生长模式。（2）工作于液相环境下的大气压等离子体在废水处理技术和生物医用方面的应用潜力引起了人们的广泛关注，但是由于大气压等离子体的复杂性、放电机制的多样性及特性，迫切需要对其进行大量的理论和实验研究。论文研究了溶液中电极附近气体层的形成机理，通过COMSOL数值模拟了气体层以及气体层内电场随电极尺寸、电压、溶液导电率、溶液密度和溶液热容等实验参量的演变，考察了不同参量对气体层的影响。结果表明电压对产生气体层的时间和气体层中的电场大小呈正相关，由于溶液的特性影响了焦耳热的产生，对气体层的产生以及内部电场也有影响，模拟结果与实验的结果相互验证，并对实验的研究起到了预见性的作用。