溶胶—凝胶法制备稀土掺杂氧化物的光致发光特性及其薄膜工艺研究

来源 :大连理工大学 | 被引量 : 4次 | 上传用户:chinamp3jgy
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采用非水性sol-gel法,通过Er3+和Er3+-Yb3+共掺杂,获得具有中心波长为1.533μm光致发光(PL)特性的稀土掺杂Al2O3。系统研究了SiO2和P2O5复合对掺Er3+:Al2O3结构和近红外光致发光特性的影响规律,讨论了氧化物复合对光致发光的增强作用。通过干燥控制化学添加剂(DCCA,Drying Control Chemical Addtive)和干燥控制物理添加剂(DCPA,Drying Control Physical Addtive)改性溶胶,控制薄膜的干燥,解决了凝胶化过程中的开裂现象,并显著增加了薄膜工艺的沉积效率,讨论了改善薄膜工艺质量的机理。以异丙醇铝[Al(OC3H73]为前驱体,稀土硝酸盐Er(NO33·5H2O为掺杂介质,在异丙醇(PriOH)的非水性环境下水解合成稀土掺杂Al2O3溶胶,在550-1200℃烧结制备掺Er3+:Al2O3粉末。建立了掺0-5.0 mol%Er3+:Al2O3构成的Er-Al-O系相组成图。体系中存在γ-(Al,Er)2O3,θ-(Al,Er)2O3,α-(Al,Er)2O3,ErAlO3(ErAP)和Er3Al5O12(ErAG)等5种相。随掺Er3+浓度的提高,γ和θ相Al2O3非晶化加剧,且对Al2O3的γ→θ→α相变抑制作用增强。Er3+掺杂Al2O3粉末以γ,θ相为主时,获得了近红外区1.533μm处主峰和1.556μm处肩峰双峰结构的PL谱。Al2O3转变至稳定的α相,ErAG与ErAP化合物析出,则PL谱由宽峰劈裂为多峰结构。θ与γ-Al2O3存在一定比例无序分布的阳离子空位,结晶程度较低。晶体场环境的多样性导致Er3+的第一激发态4I13/2向基态4I15/2跃迁,形成以1.533μm为中心波长,非均匀加宽的宽峰PL谱。α相中同样存在阳离子空位,Er3+确定的晶体场环境导致非均匀加宽效应显著弱化,形成多峰PL谱。掺0.002-2.5 mol%Er3+:α-Al2O3粉末的低温PL谱表明,0.01 mol%Er3+低于α相的溶解度上限,固溶的Er3+对掺Er3+:α-Al2O3近红外区发光贡献显著。在高掺杂Er3+浓度时,化合物ErAG对近红外区发光同样具有贡献。但化合物ErAG与ErAP更有利于Er3+由较高激发态向基态的的跃迁,易在可见光区发射,而α-Al2O3晶格中Er2+的发光则更有利于较低激发态向基态的跃迁,在近红外区更易被观察到。以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,制备稀土掺杂SiO2溶胶,通过与Al2O3溶胶混合制备了掺Er3+:SiO2-Al2O3复合体系氧化物。掺Er3+:SiO2-Al2O3粉末在1200℃烧结,仍以γ,θ相Al2O3结构为主,同时有α-Al2O3与Al6Si2O13相形成。Al2O3基体中复合SiO2抑制了γ→θ→α相的转变,大量Er3+仍位于γ,θ-Al2O3晶格中,PL谱保持中心波长1.533μm的宽峰结构。PL强度和1.533μm荧光寿命,随烧结温度提高及SiO2复合量的增加均显著增加。SiO2复合为Er3+提供了多样的晶体场环境,使ErO6八面体的对称度低于单一Al2O3体系,更有利于Er3+的激发态4I13/2向基态4I15/2能级的跃迁。通过在溶胶中加入磷酸三乙酯(TEP,(CH3CH2O)3P=O)形成掺1.0 mol%Er3+:P2O5-Al2O3复合体系氧化物,促进了掺Er3+:Al2O3中残余-OH的脱除。P2O5复合量增至30 mol%,1000℃烧结,可以实现FT-IR光谱3300-3600 cm-1波段的-OH振动吸收消逝。P2O5复合在基体中引入了振动能量在1300-1600 cm-1之间的P-O键,其振动对Er3+4I13/2能级辐射依赖的4I11/2能级向4I13/2能级无辐射过程有更为显著的增强作用。P2O5复合量增加,既降低了-OH含量,又提高了泵浦效率,双重的作用增强了Er3+的光致发光。利用J-O理论计算掺1.0 mol%Er3+:P2O5-Al2O3复合体系氧化物的强度因子Ωλ(λ=2,4,6),并拟合得到了Er3+各能级光谱参数。结果显示随P2O5复合量的提高,Ω2,4,6都呈现减小的趋势,表明P2O5的复合提高了基体的离子性。计算得到的第一激发态4I13/2的能级寿命随P2O5复合量的增加而略有增加,与实验得到的P2O5复合量对测量荧光寿命的影响规律一致。以N,N-二甲基甲酰胺(DMF)作为DCCA,以乙醇、丙醇作为DCPA,分别对稀土掺杂Al2O3溶胶改性,通过浸渍提拉工艺在SiO2/Si(100)基体上沉积稀土离子掺杂的Al2O3薄膜,抑制薄膜在干燥过程中的开裂现象。高浓度1.0 mol%Er3+-10.0 mol%Yb3+共掺Al2O3溶胶,经过40次循环提拉,1000℃烧结,可分别得到表面均匀、光滑、无开裂、厚度约为1.5μm和0.8μm,适合光学应用的稀土掺杂Al2O3薄膜。以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为增粘剂,调节DCPA改性的溶胶粘度,随着PVP聚合度及加入量的增大,溶胶粘度显著提高,当PVP(K90)与Al(OC3H73的摩尔比为1:1时,溶胶粘度由原始的2.3mPa·s增大到31.5 mPa·s,形成的单层氧化物膜厚由20 nm提高至160 nm,在干燥和烧结过程中薄膜不出现开裂,将sol-gel法薄膜工艺沉积效率提高了近一个数量级。在1.400-1.700μm波段获得了以1.533μm为中心的宽峰PL谱。采用DCCA,DCPA和增粘剂改性溶胶对稀土掺杂氧化物薄膜的PL特性无影响。
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