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铁电薄膜因其具有独特的铁电性、压电性、介电性、热释电性以及非线性光学等性能,在现代微电子、微机电系统(MEMS)、信息存储等方面有着广泛的应用前景,已经成为当前新型功能材料研究的热点之一。因此,铁电薄膜的制备及性能的研究是目前国际上高度关注的研究课题。由于铁电薄膜材料用于许多微器件,尤其在航空器件的工作过程中,薄膜不可避免地要经历许多严重的热载荷作用。材料或者结构可能遇到气动力加热、激光辐照和点火等造成的局部急剧升温情况。此时,薄膜表面在短的时间内吸收大量的能量,会使薄膜温度迅速升高进而导致热应力水