抗盐雾宽带增透膜的研制

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为了满足光学仪器在雨天、海洋等环境下的使用,研制了具有抗盐雾特性的420~820nm波段宽带增透膜。根据抗盐雾宽带增透膜的技术要求,选用Ta2O5、SiO2和Al2O3三种光学薄膜材料,结合双有效界面法原理,使用膜系设计软件设计并优化膜系。通过实验分析了膜厚误差产生的原因,借助膜系设计软件对测试结果进行模拟优化并补偿,通过在制备过程中改变每种材料的修正系数,并对工艺参数进行反复优化调整,解决了厚度误差对光谱特性的影响,最终制备的具有抗盐雾功能的宽带增透膜,在420~820nm波段内平均透过率T≥98%,通过了环境实验,基本满足使用要求。
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