随着市场经济的不断发展，审计服务对于维护资本市场的健康稳定发展发挥着越来越重要的作用。然而近些年来，国内外接连发生了一系列公司财务舞弊事件，与此相关的审计失败案件使得社会公众对会计师事务所一再失去信心。因此，内部控制审计服务突显出了存在的重要性，受到世界各地各行业前所未有的关注。各国政府监管机构也越来越关注公司舞弊行为，投资者和其他报告使用者对公司披露内部控制审计信息的需求越来越高。而对于内部控制审计的质量关乎会计师事务所和注册会计师的生存，并对投资者等利益相关者的行为产生重大影响，决定着市场资源能否正常配置，关系到整个资本市场的正常运行。因此，会计师事务所提供的内部控制审计质量问题也成为迫切需要关注和解决的核心问题。以往学者们集中于对审计质量的研究，由于我国内部控制审计起步较晚，国内学者对于内部控制审计质量的研究不多，并且大多集中于如何改善质量的对策意见上。本文试着从内部控制审计质量的影响因素视角分析内部控制审计质量，以DeAngelo审计模型为理论框架基础，从内部控制审计主体的因素、内部控制审计客体的因素和政府监管的因素三个方面分析研究内部控制审计质量。本文首先结合国内外学者的研究现状，探讨了审计质量与内部控制审计质量的涵义；其次，对内部控制审计质量的三大影响因素进行了更细致的分析；接着，基于影响因素的分析构建内部控制审计质量指标体系，通过两两比较因素的重要性对各影响因素赋予相应权重，并构建模糊关系矩阵，运用相关数学模型将所得出的权重集与模糊矩阵相乘，根据最大隶属度原则，得出最终内部控制审计质量的衡量结果，从而构建了内部控制审计质量测度模型；最后结合案例分析，通过对我国上市公司内部控制审计质量现状的实际调查，引入三个在深圳证券交易所挂牌交易的典型公司，将所建立的质量测度模型应用于各公司，计算出各公司的内部控制审计质量，对其计算结果进行比对，检验是否与实际情况相符。通过构建内部控制审计质量的因素集、评语集、权重集以及模糊判断矩阵，相应地建立一套科学合理的质量测度模型，不仅使得注册会计师的内部控制审计工作有章可循，还有利于政府部门对于内部控制审计服务进行更好的监督，也有助于相关研究人员对内部控制审计开展更有效的研究。毋庸置疑，提高我国内部控制审计质量，规范我国内部控制审计发展是实现我国资本市场健康稳定发展的当务之急，这就需要会计师事务所、上市公司自身、政府监管部门、信息使用者的共同参与和努力。