现代制造业的发展对三坐标测量机提出了更高的测量速度和精度要求,但测量机动态特性限制了测速的提高,根本原因在于测量机动态误差对测量精度的影响。本论文以测量机主要动态误差源分析为理论基础,以测量机速度参数和空间位置为关键因素来进行测量机动态误差分析与建模的研究,并运用有限元分析软件对动态误差进行仿真。本文对不同类型测量机的动态误差的种类和区分进行了详细的说明,并给出了在振动和惯性效应影响下的动态误差基本预防措施。在测量机动态误差灵敏性上阐述为:测量机架构布置、相关部件特性以及动态载荷。以此为减小测量机动态误差提供更为有效的设计思路。本文的重点在于动态误差的数学建模和仿真。数学建模主要分三个部分:动态误差建模,气浮块的单自由度振动误差建模,以及动态探测误差建模。动态误差建模主要阐述由于轴及相关部件加速所产生的动态误差,气浮块单自由度振动误差模型主要阐述激振力作用下的动态误差,动态探测误差建模主要阐述探头与工件碰撞后产生的动态误差。在动态建模部分,将测量机做单轴分析,然后叠加进行动态误差的合成。本文后续对移动桥式三坐标测量机进行了参数化几何建模,结构分析,有限元分析。为了进行有限元分析,模型简化是一项特别重要的工作。本文是通过MSC.patran和Pro/E交互分析验证有限元划分成功与否,有限元的解算器使用的是Ansys和MSC.nastran。通过模型的有限元分析就可以知道不同速度下移动桥式测量机的单轴稳定性及空间相关性。此方法可作为测量机设计的一种验证手段,并为测量机动态误差特性及构成分析、动态误差补偿提供可行性途径。