硬质合金表面纳米周期硬质膜的制备及性能

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【摘要】

：

过渡金属氮化物薄膜具有高熔点、高硬度、高韧性的特点,广泛应用于机械加工领域。过渡金属氮化物薄膜自出现以来,历经了性能单一的二元膜层、可提供多种性能需求的多元膜层,如今发展到了可以满足更高工业需求的纳米复合膜层和多层结构膜层。本文采用磁控溅射法,在硬质合金YG8和(100)单晶硅上制备了CrAlN-AlN系和CrAlN-VN系单层膜及周期膜,系统地研究了调制结构对周期膜层性能的影响。分别采用X射线衍

【作者】

：

李大洋

【机构】

：

沈阳理工大学

【发表日期】

：

2017年01期

【关键词】

：

磁控溅射 CrAlN/AlN CrAlN/VN 纳米周期膜硬度和韧性

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