【摘 要】
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该文的主要研究内容及结论如下：1.利用分子动力学模拟方法研究了低能单个碳原子在单壁碳纳米管中的输运行为.模拟结果表明,满足一定横向入射能量的入射粒子能够通过碳纳米管,
【出 处】
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中国科学院上海原子核研究所 中国科学院上海应用物理研究所
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该文的主要研究内容及结论如下：1.利用分子动力学模拟方法研究了低能单个碳原子在单壁碳纳米管中的输运行为.模拟结果表明,满足一定横向入射能量的入射粒子能够通过碳纳米管,在不同的的入射条件下,粒子在单壁碳纳米管中作受制约的折线或玫瑰花形或螺旋式的运动.我们发现在纳米管管壁附近存在一个禁戒区,低于临界能量的制约粒子不能进入禁戒区.2.我们研究了40KeV,剂量为1×10<14>/cm<2>～1×10<16>/cm<2>碳离子和2MeV剂量为3×10<15>/cm<2>He<+>离子对多壁碳纳米管的辐照效应.我们发现对于40KeV碳离子,1×10<15>/cm<-2>剂量是使多壁碳管无定形化的剂量阈值.TRIM模拟结果表明,入射离子受到的碳纳米管原子核阻止作用[（-dE/dx）<,n>]是导致碳纳米管损伤的主要原因.3.对荷能团簇碰撞（ECI）沉积装置的真空系统进行了改进,大大提高了整个系统的极限真空度,完善了制备薄膜的工艺.同时,利用该设计制备了一批重要微电子薄膜如Al,Mo,cU,AFM研究发现,改造后的ECI系统制备的薄膜的致密性很好,比较均匀,对于薄膜的电学性质的研究仍的继续中.
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