SnO_2及其掺杂物复合薄膜的气敏性研究

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随着当今信息化时代的发展,各种信息的感知、采集、转换、传输和处理的功能器件-传感器,已经成为各个应用领域,特别是自动检测、自动控制系统中不可缺少的重要技术工具。获取各种信息的传感器无疑“掌握”着这些系统的命脉。目前,在工业生产自动化、能源、交通、火灾预测、安全防卫、环境保护、医疗卫生等方面开发了各种传感器。论文的绪论部分,从传感器及传感器技术出发,讲述了化学传感器及其分类,气体传感器的分类以及各类半导体气体传感器工作原理及特点。并对光波导气体传感器的未来发展进行评述,介绍了光波导气体传感
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