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微型反应器是一个集成的微电子机械系统(MEMS),它内部结构宽度的典型尺寸在微米量级.由于具有非常大的表面体积比,它能够提供高效的热质传递,对化学反应过程进行控制,是实现化学反应安全、高效、节约和自动化的有效工具.该文首先讨论了微型反应器的设计原理,在此基础上对微型反应器制作的相关MEMS技术进行了系统的研究,给出了微流量计、用于高温气相催化反应的微型反应器的研制结果,同时,对用于纳米颗粒生长、团聚的微型反应器进行了有益的探索.