微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS）在航天、医学、信息、精密制造业和国防领域均具有广泛的应用。其中,电磁型微驱动器作为微驱动器的一种结构形式,具有行程长、响应速度快、驱动力大等优点,且工作寿命长、抗干扰能力强、易于装配和产业化,多年来一直受到广大学者的研究关注。将直线电机及其控制系统作为微驱动器,可以实现微米级高精度机械运动,特别适合应用在具有空间限制要求的精密控制领域。本文以新型微永磁直线电机为研究对象,通过对其控制策略进行优化分析,抑制电磁推力脉动,提高电机的动态响应性能,为其在高精度工业制造领域奠定理论和实践基础。首先,研究新型微永磁直线电机的数学模型,推导单块永磁体在空间中的磁场分布,利用叠加原理分析微永磁直线电机动子永磁体在气隙中的磁场分布,并以此为基础研究微永磁直线电机的推力表达式、电压方程与运动方程,建立新型微型永磁直线电机的数学模型。接下来,分析气隙磁场分布中的各种谐波分量,提出在激励电流中注入奇次谐波分量的推力脉动抑制方法。探索奇次谐波电流注入消除推力脉动的机理,并提出采用多旋转轴系下的比例积分控制、准比例谐振控制与复矢量比例积分控制等方法进行谐波电流注入。搭建控制策略仿真平台,验证电流谐波注入消除电磁推力脉动的有效性。为进一步提升新型微永磁直线电机响应的快速性,提出基于电流预测控制方法对系统中存在的延时环节进行优化。分析新型微永磁直线电机控制系统中主要存在的延时环节,研究电压指令生效延迟的机理,推导电流预测控制器数学模型。由于电流预测方法对系统参数依赖较高、抗参数扰动能力较弱,提出一种电流预测控制器改进方法,进行相应理论推导,并通过仿真验证改进电流预测控制对电流环响应速度的提升,且在电阻、电感以及转子磁链参数扰动下具有很好的鲁棒性。最后,设计制造新型微永磁直线电机控制器,并利用MATLAB/Simulink平台的代码生成器完成与之匹配的软件控制系统,搭建新型微永磁直线电机的实验平台,对本文提出的各种控制策略进行实验验证。