【摘 要】
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扫描探针显微镜(SPM)包括原子力显微镜(AFM)和扫描隧道显微镜(STM)以其分辨率高,可以在真空、大气和液体环境下工作的优势,在纳米技术研究领域得到了广泛的应用。基于原子力显微镜的机械刻划加工具有精度高而且加工同时可以对表面监测等优点。因此,对基于原子力显微镜的纳米刻划相关技术进行深入研究,具有重要的理论意义与实用价值。切屑的形成和对切屑产生影响的因素是机械加工中的一项重要研究内容。因此,本文
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扫描探针显微镜(SPM)包括原子力显微镜(AFM)和扫描隧道显微镜(STM)以其分辨率高,可以在真空、大气和液体环境下工作的优势,在纳米技术研究领域得到了广泛的应用。基于原子力显微镜的机械刻划加工具有精度高而且加工同时可以对表面监测等优点。因此,对基于原子力显微镜的纳米刻划相关技术进行深入研究,具有重要的理论意义与实用价值。切屑的形成和对切屑产生影响的因素是机械加工中的一项重要研究内容。因此,本文通过AFM机械刻划加工方法,对超精密加工中切屑的形成、形貌的影响因素进行了研究。本文
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随着我国经济的快速发展、电力需求的急剧增长，大型、巨型水电机组相继建设和投产发电，因而，对水电机组和电力系统的可靠性要求也越来越高。水轮机调速器是水电机组中水轮机的重
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