ITO靶材的冷烧结低温制备及性能研究

来源 :桂林电子科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liu13948706813
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
氧化铟锡(ITO)薄膜具有优异的光电性能,广泛应用于薄膜太阳能电池、显示面板等领域。高性能ITO薄膜的制备依赖于高性能的ITO靶材。高相对密度的ITO靶材通常需要在1600℃的高温下烧结一周左右,耗能非常高,因此如何降低ITO靶材的烧结温度实现靶材的绿色制备是当前急需解决的重要问题。要想低温烧结获得高相对密度的ITO靶材,如何提高生坯的相对密度至关重要。本文采用冷烧结工艺开展了ITO生坯的成型研究,探究了辅助溶剂种类、压力、温度、升温速率等冷烧结工艺参数对生坯的密度、微观结构及电性能的影响;研究了以不同粒径的ITO粉体为原料对冷烧结制备生坯过程中的影响;采用共沉淀法制备锌掺杂ITO(ZITO)粉体,探究不同锌掺杂量对冷烧结制备生坯及退火的影响。采用XRD、SEM等手段对生坯及退火后样品的微观结构、相组成、电性能进行了表征。(1)以共沉淀法制备的纳米ITO粉体为原料,在400℃/470 MPa下制备出相对密度为90.60%、电阻率为2.497×10-3Ω·cm的ITO生坯。生坯在1050℃退火4h后获得相对密度为93.96%、电阻率为8.356×10-4Ω·cm、平均晶粒尺寸为110nm的ITO靶材。冷烧结制备的高密度ITO生坯有利于降低靶材的烧结温度。(2)以共沉淀法制备的前驱体经不同煅烧条件(500℃/1 h、600℃/1 h、700℃/1 h、800℃/1 h)得到不同粒径(12.82 nm、20.71 nm、31.64 nm、45.90 nm)的ITO粉体为原料,通过冷烧结工艺制备成生坯,研究了不同粉体粒径对冷烧结生坯成型的影响规律,发现粒径为31.64 nm的粉体获得了本实验范围内的最高生坯相对密度为93.67%,电阻率为7.862×10-4Ω·cm。采用20.71 nm的粉体与45.90 nm的粉体按质量比9:1混合为原料时,生坯的相对密度为90.16%、电阻率为1.342×10-3Ω·cm。以商业ITO粉体为原料,按相同工艺获得的生坯相对密度为71.14%,电阻率为6.256×10-3Ω·cm。为提高商业ITO粉体制备生坯的密度,采用共沉淀纳米粉体与商业粉进行混合后作为冷烧结制备生坯的原料,质量比40wt.%的共沉淀粉与60wt.%的商业粉为原料时,冷烧结后获得相对密度88.37%、电阻率为2.041×10-3Ω·cm的ITO生坯。(3)粒径小的纳米ITO粉体有利于提高烧结活性,降低烧结温度。使用共沉淀法制备不同锌掺杂量的ITO粉体为原料进行冷烧结制备ZITO生坯,当原子比Zn:(In+Sn)=0.08时,生坯的密度为6.3196 g/cm~3、电阻率为1.570×10-2Ω·cm。锌掺杂ITO有利于ITO密度的提高,在1400℃退火时,原子比为0.12的样品密度达到6.5046g/cm~3,电阻率为9.392×10-3Ω·cm。原子比小更有利于获得低的电阻率,原子比为0.06的样品在1400℃退火后,密度为6.3012 g/cm~3,电阻率为3.180×10-3Ω·cm。
其他文献
<正>吴藻跟很多女作家有交游,也跟很多男作家有交游,我所写下来的是其中比较著名的人。把吴藻的词集打开来看,里边有很多题赠的、唱和的诗词,可见她与很多人有来往,有一首词就是《摸鱼儿》。我说过当时女子也有婚外情,大家认为朱淑真结了婚,有了婚外情;李清照其实是没有的,有人传言她晚年改嫁,改嫁并不是婚外情,何况李清照并没有改嫁。写婚外情的诗词,朱淑真写得非常浅露,什么"和衣睡倒人怀"(《清平乐》)之类的。
期刊
<正>钱仲联(1908—2003,古典文学研究专家)先生引魏谦升的序,说吴藻的住处,曾经是清代词人厉鄂、吴锡麒先后住过。这个地方就是她晚年所住南湖的"香南雪北庐"。说吴锡麒去世以后"或虑坛坫无人",词学就中绝了,魏谦升说没有想到继起者是在"闺阁之间"。而且称赞她是"灵襟独抱,清光大来,不名一家,奄有众妙"。是说吴藻的词有婉约的一面,也有豪放的一面。之前讲了女作家婉约的词,现在讲吴藻的豪放的词。
期刊
[目的]观察肾衰方联合包醛氧淀粉胶囊及缬沙坦片对慢性肾脏病(CKD)4期患者残余肾功能及生活质量的干预作用。[方法]选择2020年10月—2021年9月天津中医药大学第一附属医院收治的90例CKD4期患者,根据随机数字表法随机分为对照组(45例)和中药组(45例)。对照组予包醛氧淀粉胶囊及缬沙坦片治疗,中药组予肾衰方联合包醛氧淀粉胶囊及缬沙坦片治疗,连续服用3个月。观测治疗前后2组临床疗效、血清肌
当前的小学语文习作教学正面临着较为严重的同质化和模板化问题,不仅抑制了学生写作热情,还限制了他们写作核心素养的发展。因此,指向核心素养的小学语文习作教学,必须根据习作目标与学生原有水平的差异度,针对学习元素为学生搭建有效的学习支架,以情境支架唤醒写作动机、以内容支架启迪写作思维、以言语支架丰富写作表达。
目的探讨多索茶碱对食管癌根治术患者氧化应激、炎症因子的影响,以期为多索茶碱的合理使用提供临床参考。方法选择2014年5月—2015年6月在浙江大学金华医院暨金华市中心医院行食管癌根治术患者80例,采用随机数字表法分为观察组和对照组,对照组和观察组分别于双腔支气管插管后静脉滴注等量的生理盐水和多索茶碱,记录2组患者术中各指标变化情况,比较2组患者的氧化应激水平以及炎症因子水平的变化情况,并观察2组患
目的 通过检测高龄产妇血浆神经肽Y和P物质表达水平,分析两者与产后抑郁的相关性。方法 选取2018年5月—2019年10月在温州医科大学附属康宁医院确诊为产后抑郁的高龄产妇103例为产后抑郁组,根据抑郁自评量表(SAS)分为轻度抑郁组(29例)、中度抑郁组(32例)及重度抑郁组(42例),另选取同期健康高龄产妇81例为对照组。采用ELISA法检测血浆神经肽Y和P物质,采用Spearman分析血浆神
随着我国城镇化发展的持续加速,城市规模的不断扩大,居民的需求也在不断丰富和提升,而我国的法律法规、经济发展、城市管理等建设工作还不能完全满足居民的需求,问题也就自然而生。特别是城市管理方面,随着问题的多样化和复杂化,其保障城市健康运行的任务便更加繁重,加强和改善城市管理的需求日益迫切,城市管理工作的作用和地位日益突出。对于城市管理作为新时代社会发展治理的一项重要内容,党中央曾多次指出,城市管理要有
目前,商业银行为大幅度提高自身经营管理水平,有效提升市场竞争力和风险防控能力,已将大数据视为基础性的战略资源,使大数据的应用占据各项业务的主导地位。随着大数据分析建模理论的产生与推广,以及金融领域业务数据应用的多年积累,商业银行对充分利用大数据挖掘技术的优势、对海量数据的深入挖掘和分析已引起高度重视。本文基于商业银行大数据呈现的显著特征,分析了商业银行利用大数据实施精准营销的机遇,揭示了目前存在的