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氧化铈作为一种稀土抛光材料,已被广泛应用于精密光学玻璃和超大规模集成电路硅单晶片的抛光。本文采用水热法合成了不同形貌的微纳米氧化铈,利用X-射线衍射仪和扫描电子显微镜对其物相组成和表面形貌进行了表征,并研究了其机械抛光性能;另外,利用Ansys软件建立了不同形貌微纳米氧化铈的机械抛光模型,进一步研究了微纳米氧化铈的形貌对单晶硅机械抛光性能的影响,并探讨了微纳米氧化铈机械抛光过程的抛光机理。分别以硝酸铈铵和尿素、硝酸铈和氢氧化钾、硝酸铈和醋酸铵为原料,采用水热法合成了圆球形、方块形和八面体形微纳米氧化