多通道表面放电在光泵浦XeF（C-A）激光时具有能量沉积效率高、可获得大面积均匀放电、激活体积大以及增益均匀等优点。本文通过研制一单模块多通道放电装置，对其泵浦源特性进行了研究。 介绍了多通道表面放电泵浦源的设计，并对相关的触发机理进行了理论分析。建立了参数的诊断及测量系统，用两种方法实验研究了泵浦源的同步及均匀放电，实现了多通道的同步，抖动小于40ns；研究了各种因素对同步的影响，得到了泵浦源多通道同步及均匀放电适当的实验条件：氮氩混合气体总气压约1～1.5atm，气分比为N₂：Ar=3：7，充电电压大于15kV，触发电压大于30kV，前沿约10ns。实验研究了不同条件下泵浦源电路参数的变化规律。对XeF₂的光解离以及解离波和XeF（C-A）激光的形成机理进行了简要描述，实验拍摄了通道不同单位长度沉积功率情况下的解离波图像，计算了解离波发展速度及等离子体亮度温度，对其真空紫外辐射能力做出了评估。