【摘 要】
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本文首先对热解石墨材料的性能进行了讨论,并就其在大功率、超大功率电子管中的应用作了分析,指出了热解石墨作为栅极材料的优越性能;然后通过试验研究和讨论,获得了优化的石墨栅极毛坯沉积工艺,完成了课题目标。为了使旭光电子股份有限公司顺利实现从热解石墨栅极毛坯沉积到栅极成品的生产,本人作为工艺研究人员,对热解石墨栅极毛坯沉积工艺进行了详细、深入的研究。在本课题研究工作中,采用了丙烷有机碳氢化合物气体和稀释
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本文首先对热解石墨材料的性能进行了讨论,并就其在大功率、超大功率电子管中的应用作了分析,指出了热解石墨作为栅极材料的优越性能;然后通过试验研究和讨论,获得了优化的石墨栅极毛坯沉积工艺,完成了课题目标。为了使旭光电子股份有限公司顺利实现从热解石墨栅极毛坯沉积到栅极成品的生产,本人作为工艺研究人员,对热解石墨栅极毛坯沉积工艺进行了详细、深入的研究。在本课题研究工作中,采用了丙烷有机碳氢化合物气体和稀释用氮气、氩气,在高温1800℃左右的真空条件下试验研究了热解石墨栅极毛坯的沉积。
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