应用于LTCC的介质材料需要满足的条件为:较低的烧结温度、较小的介电常数、较大的品质因素和近零的谐振频率温度系数。Ca₅Co₄（VO₄）₆微波介质陶瓷是一种新型的低温烧结微波陶瓷,并具有高的品质因素。本文是以Ca₅Co₄（VO₄）₆微波介质陶瓷为研究对象,通过传统的固相反应法进行样品制备。为得到较高Q×f值,分别系统研究了Ca、Co和V的非化学计量比对Ca₅Co₄（VO₄）₆微波陶瓷相组成、微观形貌、烧结特性、拉曼光谱和介电性能的影响,并指出了离子极化率、相对密度、平均晶粒尺寸、气孔率、晶格常数、离子有序度、晶胞体积与微波介电性能的联系;在此基础上通过添加TiO₂、CaTiO₃对谐振频率温度系数进行调零,同时指出了TiO₂和CaTiO₃的添加对基料陶瓷样品的相组成、微观形貌和微波介电性能的作用规律。最终,制备出应用到LTCC的微波介质陶瓷。首先,系统研究了Ca、Co和V的非化学计量比对Ca₅Co₄（VO₄）₆微波陶瓷各项性能的影响。研究结果表明:（1）所有样品都为单一晶相;（2）当Ca离子不足时,降低了烧结温度,促进了晶粒完全生长。Ca_4.95Co₄（VO₄）₆陶瓷样品在875°C烧结温度下的微波介电性能:ε_r=10.22,Q×f=53906GHz和τ_f=-72ppm/℃;（3）Co离子含量不足时,促进了晶粒生长,增强了微观结构致密性,进而提高了Q×f值。Ca₅Co_3.95（VO₄）₆陶瓷样品在875°C烧结温度下的微波介电性能如下:ε_r=10.1、Q×f=54100GHz和τ_f=-68ppm/°C。（4）V离子缺陷时抑制了晶粒不正常的生长,使得晶粒小而均匀,同时提高了微观结构的致密性、结晶度和离子有序度,大幅度地提高了Q×f值。Ca₅Co₄V_5.95O₂₄在875°C温度下烧结得到的微波介电性能:ε_r=10.6、Q×f=72990GHz和τ_f=-72.4ppm/°C。其次,通过以Ca₅Co₄V_5.95O₂₄为基料添加TiO₂、CaTiO₃对其谐振频率温度系数进行调零。Ca₅Co₄V_5.95O₂₄陶瓷样品的谐振频率温度系数随TiO₂、CaTiO₃添加量的增加而增加。当TiO₂添加量为10wt%时,在925°C温度下烧结,两相复合材料具有良好的微波介电性能:ε_r=13.7、Q×f=19159GHz和τ_f=0ppm/°C。CaTiO₃添加量为6wt%时,在925°C温度下烧结,两相复合材料具有优异的微波介电性能:ε_r=14.56、Q×f=20354GHz和τ_f=-2.5ppm/°C。