硅基液晶显示器(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)是一种新型的反射式液晶显示器件,它将传统薄膜晶体管液晶显示(TFT-LCD)和大规模集成电路(CMOS)技术的特点结合在一起,具有高分辨率、高开口率、快速响应等优点;在投影显示、3D全息显示和近眼虚拟显示中有着广泛的应用。本文以LCoS显示器件为研究对象,研究内容包括LCoS器件在高分辨率时序显示方面的应用,LCoS器件在高分辨率条件下边缘场效应的探究,光取向技术应用于LCoS器件相关特性的探索。首先,LCoS器件在高分辨时序显示的应用方面;通过仿真软件对其工作模式及相关参数进行选择优化,针对器件高对比度的要求,将其工作模式确定为VA(vertical alignment)型,并着重介绍了 VA-LCoS器件的工作原理。在此基础上,通过大量实验改善工艺流程及工艺参数,制备出可实现时序显示的高分辨率LCoS显示器,并对其进行光电特性方面的探究。其次,在高分辨率LCoS器件边缘场效应的探究方面;分析了边缘场效应产生的原因,并对常见的几种改善方法进行探讨,在此基础上,提出了三电极结构的LCoS工作模式,并对其光电特性进行仿真分析,结果证明,该模式能够很好地抑制高分辨LCoS器件的边缘场效应,并在超高分辨率显示领域具有良好的应用前景。最后,对光取向技术应用于LCoS器件进行了探索,初步确定光取向应用于LCoS器件的可行性,为应用光取向技术改善LCoS器件性能奠定基础。