干涉信号处理是对干涉测量法得到的信号进行处理的技术，不同干涉法得到的干涉信号，其处理方法也不尽相同。移相干涉测量法按移相方式的不同可分为硬件移相和波长移相两种。硬件移相一般采用压电陶瓷来推动参考镜移动，在制作大口径干涉仪时较为困难。波长移相是近几年发展起来的新技术，激光既是光源又是调制器，该移相法不需要移动参考镜，结构简单，在制作大口径干涉仪方面具有较广阔的前景。其中正弦相位调制(SPM)干涉测量法是一种相位调制简单、测量精度高的移相方法。本文主要采用滤波的方法对SPM干涉信号进行处理，提取相位主值，并进行相位展开。具体研究内容如下：1、基于滤波式SPM干涉测量方法，仿真并分析了滤波器、乘性噪声、加性噪声对测量结果的影响，为滤波器参数的选择提供依据。2、提出了自适应SPM干涉测量方法，并对物体振动和位移进行了研究，其测量误差为亚nm量级。利用该方法对物体表面形貌进行仿真研究，误差分析结果表明，该测量方法比传统表面形貌测量方法精度高。3、基于正弦相位调制的干涉信号，提出一种间隔采样方法，大大降低了SPM干涉测量法对高速CCD的要求（将CCD的帧频降低了10倍）。仿真证明，该采样是可行性的，并提高了干涉仪的抗干扰能力。4、基于分支阻断算法，提出中间平衡分支阻断算法。该方法改进了分支阻断算法，对分支的设置进行了改进与优化。在残差点较多时，能有效地减小分支形成闭合区域的可能性，并保证所有残差点均被平衡，能对相对复杂的相位图实现相位展开。5、提出旋转相位展开算法。仿真表明测量速度比传统的分支阻断算法快几倍。引入中值滤波技术，大大降低了噪声的影响。